Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 사업 지원기업 모집 공고
- 지원사업 분류 장비
- 공고기관 준 정부기관
- 주관기관 대전광역시
- 소관부처 대전테크노파크
- 신청기간 2025-03-31 09:00:00 ~ 2025-10-31 18:00:00
- 신청방법 온라인 접수 (대전기업정보포털)
사업개요 산업통상자원부, 대전광역시, (재)대전테크노파크는 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보
지원내용
☞ EUV 소재 제조공정 고도화 및 상용화 기술지원
※ 자세한 지원내용 공고문 2p 참조
지원금액 15 (단위 : 백만)
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문의처
[사업관련]대전테크노파크 반도체ㆍ나노ㆍ소재팀 042-930-4921 / [장비관련]대전테크노파크 이차전지ㆍ에너지팀 042-930-4915 / [시스템문의]대전테크노파크 정보화팀 042-251-2872 자세한 내용은 첨부파일 참조 및 문의처로 문의하여 주시기 바랍니다.